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알루미나, MgO, ITO, ZnO, SiO2, YBa2Cu3OX, Y2O3,BaTiO3, ZrO2 등 산화물 SiC, Si3N4, SiAlON, AlN, AlON, WC-Co, TiC-Ni 등 비산화물, Fe, NI, Co 등 금속 (분위기 조절 option)
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알루미나, MgO,
ITO, ZnO, SiO2, YBa2Cu3OX,
Y2O3,BaTiO3,
ZrO2 등
산화물
SiC, Si3N4,
SiAlON, AlN, AlON, WC-Co, TiC-Ni 등 비산화물,
Fe, NI, Co 등 금속 (분위기 조절 option)
